完整性泡點(diǎn)孔徑測(cè)試儀采用常用的全自動(dòng)數(shù)字進(jìn)氣控制子系統(tǒng)，摒棄了國(guó)內(nèi)落后的機(jī)械半自動(dòng)進(jìn)氣方式（即手動(dòng)調(diào)節(jié)單向節(jié)流閥改變氣體流量），使測(cè)試儀能夠在不同的氣源壓力和測(cè)試條件下工作穩(wěn)定可靠，特別是當(dāng)客戶(hù)使用的氣源壓力波動(dòng)較大時(shí)，儀器具有自動(dòng)穩(wěn)定和數(shù)字控制技術(shù)，確保測(cè)試結(jié)果的準(zhǔn)確性和準(zhǔn)確性。

　　由于毛細(xì)作用，潤(rùn)濕液停留在膜的多孔通道中，這種毛細(xì)作用隨著孔徑的減小而增加。取決于膜孔徑的氣體壓力迫使液體流出孔。此時(shí)的壓力稱(chēng)為“泡點(diǎn)”或簡(jiǎn)稱(chēng)BP。液體會(huì)從膜上的大孔徑中流出。因此，濾芯的BP值還與膜材料的表面張力有關(guān)（潤(rùn)濕角因材料不同而異），尤其是潤(rùn)濕液。低表面張力液體，如有機(jī)溶劑、洗滌劑和乳化劑，其BP值較低。BP值還與潤(rùn)濕介質(zhì)的溫度有關(guān)。完整性泡點(diǎn)孔徑測(cè)試儀泡點(diǎn)測(cè)試法特別適用于晶圓薄膜的完整性測(cè)試。

 

　　當(dāng)樣品高壓側(cè)的氣體壓力大于樣品膜孔中的毛細(xì)壓力和表面張力時(shí)，它會(huì)從樣品的另一側(cè)釋放，壓緊孔隙中的潤(rùn)濕液通過(guò)氣體壓力排出到樣品的低壓側(cè)。此時(shí)試樣高壓側(cè)的壓力被認(rèn)為是泡點(diǎn)壓力，此時(shí)的現(xiàn)象應(yīng)該是試樣中出現(xiàn)一系列連續(xù)的氣泡。

　　完整性泡點(diǎn)孔徑測(cè)試儀在進(jìn)行完整性測(cè)試之前，必須確保測(cè)試過(guò)濾材料已被*浸泡。人工滲透的方法一般如下：將濾料放入滲透液中充分浸泡20分鐘左右，每隔3分鐘提起一次濾料以消除氣泡，使大氣壓水力滲入膜孔。產(chǎn)品潤(rùn)濕液不是指水，也不是產(chǎn)品或工藝流體，而是指溶劑。產(chǎn)品潤(rùn)濕后，同一濾材的完整性測(cè)試結(jié)果可能會(huì)有所不同。造成它們不同的原因是潤(rùn)濕液的表面張力系數(shù)不同。測(cè)試氣體在擴(kuò)散流中的溶解度和擴(kuò)散能力也會(huì)造成測(cè)試結(jié)果的不一致。對(duì)于該系統(tǒng)，推薦的浸泡溶液是碳氟化合物、無(wú)水乙醇或60%異丙醇和水的混合物。由于界面張力的分子重力，潤(rùn)濕液被牢牢鎖在濾料的微孔間隙中。